304微系统（MEMS）导论
一、 考试要求
要求考生掌握微机电系统（MEMS，Micro Electro-Mechanical System；或称微光机电系统，MOEMS，美国惯用词；或称微系统，Microsystem，欧洲惯用词；或称微机械，Micro-Machine，日本惯用词）的基本概念与应用原理，并能够灵活应用，具有较强的分析问题和解决问题能力。
二、 考试内容
1、 微系统的工作原理
2、 微系统设计和制造的工程科学
3、 微系统设计中的工程力学
4、 微型化中的尺度效应
5、 用于MEMS和微系统的材料
6、 微系统加工和微制造基本工艺
7、 微系统设计
8、 微系统封装
三、 试卷结构
1、 试时间3小时，满分100分
2、 题目类型：概念题、简答题、计算题、填空题、选择题
四、 教材及主要参考书
1、 Nadim Maluf：《An Introduction to Microelectromechanical Systems Engineering》， Artech House，Boston，London，2000
2、 Tai-Ran Hsu：《MEMS & Microsystems: Design and Manufacture》， McGraw-Hill Companies，2002